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真空用高精度加热板 真空用高精度ホットプレート -
真空用高精度加热板 真空用高精度ホットプレート
真空用高精度ホットプレートクリックすると、左に画像が大きく表示されますCVDETCHINGASHINGなどに最適特徴加熱対象フレキシブル面状真空対応配管・容器金属液体気体××○○○○○面内の温度分布を高精度に制御形状、サイズなどご相談に応じますMAX400℃まで対応（Alプレート）分割設計によりFPD G8サイズも高精度分布を実現
真空用高精度ホットプレート
クリックすると、左に画像が大きく表示されます
CVD
ETCHING
ASHING
などに最適
| 特徴 | 加熱対象 | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| フレキ シブル | 面状 | 真空 対応 | 配管・ 容器 | 金属 | 液体 | 気体 |
| × | × | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ |
面内の温度分布を高精度に制御
形状、サイズなどご相談に応じます
MAX400℃まで対応（Alプレート）
分割設計によりFPD G8サイズも高精度分布を実現
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