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常压用高精度加热板 常圧用高精度ホットプレート -
常压用高精度加热板 常圧用高精度ホットプレート
常圧用高精度ホットプレートクリックすると、左に画像が大きく表示されますレジスト、カラーフィルター等のベーキング（FEOL）プローバ等の検査装置（BEOL）マスクガラス加熱用特徴加熱対象フレキシブル面状真空対応配管・容器金属液体気体×××○○○○ヒータ一体型に比べ軽量、且つ低消費電力分割設計によりFPD G8サイズも高精度分布を実現MAX400℃まで対応
常圧用高精度ホットプレート
クリックすると、左に画像が大きく表示されます
レジスト、カラーフィルター等のベーキング（FEOL）
プローバ等の検査装置（BEOL）
マスクガラス加熱用
| 特徴 | 加熱対象 | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| フレキ シブル | 面状 | 真空 対応 | 配管・ 容器 | 金属 | 液体 | 気体 |
| × | × | × | ○ | ○ | ○ | ○ |
ヒータ一体型に比べ軽量、且つ低消費電力
分割設計によりFPD G8サイズも高精度分布を実現
MAX400℃まで対応
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