加热交换器　ヒートエクスチェンジャー

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加热交换器ヒートエクスチェンジャークリックすると、左に画像が大きく表示されます半導体・FPD製造用超高純度ガス供給/加熱各種分析装置用超高純度ガス供給/加熱熱処理炉用雰囲気ガス供給などに最適特徴加熱対象フレキシブル面状真空対応配管・容器金属液体気体×××○××○EP管のみを使用したクリーン対応品小型・軽量・コンパクトで高効率熱電対・サーモスタット標準装備入口/出口継手サイズは選択可能EP管のみを使

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加热交换器

ヒートエクスチェンジャー

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半導体・FPD製造用超高純度ガス供給/加熱
各種分析装置用超高純度ガス供給/加熱
熱処理炉用雰囲気ガス供給などに最適

特徴			加熱対象
フレキシブル	面状	真空対応	配管・容器	金属	液体	気体
×	×	×	○	×	×	○

EP管のみを使用したクリーン対応品
小型・軽量・コンパクトで高効率
熱電対・サーモスタット標準装備
入口/出口継手サイズは選択可能

EP管のみを使用したクリーンな構造
・継手や配管など接ガス部はオールステンレス（SUS316L）製。
・被加熱ガスは、ヒータ表面に触れることなく加熱されます。クリーンな配管内を移送中に、クリーンなまま加熱されます。
小型・軽量で高効率
・本体最小サイズは□80mm×L102mm、本体重量は最小1.0kg～と小型・軽量。
　シリーズ化により最大流量100 L/min、最高300℃まで使用可能な製品をラインアップ。
熱電対、サーモスタットを標準装備
・温度制御、過昇温防止への配慮も標準装備。結線も簡単です。
入口/出口の継手は変更可能
・標準継手はUJR 1/4 Femaleサイズ。
・ 1/4～1/2サイズまでの入口/出口サイズに対応します。

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※下記以外の仕様についても、お気軽にお問合せ下さい。

タイプ	Sタイプ		Mタイプ		Lタイプ
タイプ	WEX-S＊ -2＊	WEX-S＊ -3＊	WEX-M＊ -2＊	WEX-M＊ -3＊	WEX-L＊ -3＊
加熱可能流体	不活性ガス
最高使用温度	200℃	300℃	200℃	300℃	300℃
定格流量	～10ℓ/min		～50ℓ/min		～100ℓ/min
定格容量	130W	190W	400W	560W	1300W
最大動作圧力	0.5Mpa
標準継手	UJR"1/4メス				UJR"3/8メス
接ガス部材質	SUS316L（WEP仕様）
リークレート	1 × 10¹⁰ Pa ・ m³/sec以下
電源	AC100又はAC200
熱電対	Kタイプ　クラス2
サーモスタット	ディスク型	ブロック型	ディスク型	ブロック型	ブロック型
本体外形寸法（H×W×D）	75×75×98	96×102×128	125.5×100×115	155.5×130×145	178×150×165
本体重量	約1kg	約1.2kg	約2kg	約2.3kg	約4kg
結線方法	コネクタ取出し	リード線 2m	コネクタ取出し	リード線 2m	コネクタ取出し
標準付属品	※1	※4	※2	※5	※3

※1　サーモ・電源用コネクタ×1　K熱電対用コネクタ×1　取付金具×1
※2　サーモ・電源用コネクタ×1　K熱電対用コネクタ×1　取付金具×2
※3　サーモ用コネクタ×1　電源用コネクタ×1　K熱電対用コネクタ×1　取付金具×2
※4　取付金具×1　外装パンチングメタルタイプ
※5　取付金具×2　外装パンチングメタルタイプ